Micro Sensors & Actuators Lab


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Research area in the Micro Sensors and Actuators laboratory includes in MEMS technology, microsensors, microactuators, microstructures, and microfluidics. Successfully developed MEMS devices include electromechanical actuated microscanner, accelorometer, microlens, micropump, RF switch, optical modulator, attenuator, microchip for peptide analysis, and so on. For more information about MEMS and research, please contact us as below :

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Research Highlights


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